Nỗi ám ảnh của người Mỹ thành hiện thực khi Trung Quốc tạo ra máy EUV

Bất chấp các lệnh kiểm soát xuất khẩu từ Mỹ, Trung Quốc vẫn tìm cách xây dựng hệ thống EUV nội địa nhằm giảm phụ thuộc chuỗi cung ứng toàn cầu.

Tại một khu phức hợp nghiên cứu được bảo vệ nghiêm ngặt ở Thâm Quyến (Trung Quốc), các nhà khoa học nước này đang âm thầm phát triển và thử nghiệm nguyên mẫu của một cỗ máy có thể trở thành thiết bị sản xuất chip phức tạp nhất thế giới. Cỗ máy này có khả năng sản xuất các chất bán dẫn tiên tiến, điều mà Mỹ đã nỗ lực ngăn chặn Trung Quốc tiếp cận trong nhiều năm qua.

Trung Quốc đã có máy EUV riêng, nhưng chỉ ở dạng nguyên mẫu.

Báo cáo từ Reuters cho biết, nguyên mẫu này đã hoàn thành vào đầu năm 2025 và chiếm gần như toàn bộ một tầng nhà máy. Nhóm thực hiện dự án bao gồm một số kỹ sư cũ từ công ty bán dẫn ASML của Hà Lan đã tham gia phân tích ngược các thành phần của hệ thống quang khắc cực tím (EUV). Mặc dù nguyên mẫu chưa sản xuất được chip hoạt động, nhưng sự tồn tại của nó đã đánh dấu một bước tiến quan trọng trong nỗ lực tự chủ công nghệ của Bắc Kinh.

CEO ASML, Christophe Fouquet, từng nhận định rằng Trung Quốc sẽ cần “rất, rất nhiều năm” để đạt được giai đoạn này. Tuy nhiên, bước đột phá tại Thâm Quyến cho thấy khoảng cách này có thể đang thu hẹp nhanh chóng hơn dự kiến.

Đây là một phần của sáng kiến quốc gia kéo dài 6 năm, được giám sát bởi Ủy ban Khoa học và Công nghệ Trung ương Trung Quốc và do Đinh Tiết Tường lãnh đạo. Huawei đóng vai trò điều phối, kết nối các viện nghiên cứu nhà nước với các đối tác tư nhân trong một dự án được ví như “Dự án Manhattan” cho ngành công nghiệp bán dẫn.

Các nhà nghiên cứu Trung Quốc đã áp dụng kỹ thuật đảo ngược từ các bộ phận linh kiện máy EUV từ ASML.

Mục tiêu của dự án là chế tạo các máy móc có khả năng sản xuất chip tiên tiến chỉ bằng công nghệ trong nước nhằm giảm thiểu sự phụ thuộc vào chuỗi cung ứng do Mỹ kiểm soát. Bắc Kinh đặt mục tiêu sản xuất chip hoạt động từ nguyên mẫu EUV tự sản xuất vào năm 2028, nhưng các nguồn tin cho rằng năm 2030 là mốc thời gian thực tế hơn. Các chi tiết kỹ thuật của phòng thí nghiệm Thâm Quyến vẫn được giữ bí mật.

Trước đó, chỉ các đồng minh của Mỹ như Đài Loan, Nhật Bản và Hàn Quốc mới được phép mua thiết bị EUV của ASML. Kể từ năm 2018, Washington đã gây áp lực lên Hà Lan để ngăn chặn việc bán hàng cho Trung Quốc, và các biện pháp kiểm soát xuất khẩu đã được thắt chặt hơn dưới thời chính quyền Biden.

Để lắp ráp hệ thống EUV riêng, các kỹ sư Trung Quốc đã tìm mua linh kiện cũ của ASML qua thị trường thứ cấp và tháo dỡ chúng để tích hợp vào nguyên mẫu trong nước. Họ cũng sử dụng các bộ phận thu hồi từ các thiết bị in thạch bản đã qua sử dụng của ASML, Nikon và Canon.

Thị trường chip tiên tiến sẽ trở nên hấp dẫn hơn từ máy EUV của ASML.

Việc tái tạo độ chính xác quang học của các hệ thống phương Tây vẫn là một thách thức lớn. Máy EUV của ASML dựa trên gương do Carl Zeiss sản xuất, và việc chế tạo cũng như căn chỉnh chúng mất nhiều tháng. Các viện nghiên cứu của Trung Quốc, dẫn đầu là Viện Quang học, Cơ khí chính xác và Vật lý Trường Xuân, đang phát triển các giải pháp thay thế trong nước.

Dự án máy EUV của Trung Quốc hoạt động trong điều kiện bảo mật nghiêm ngặt, với các cựu nhân viên ASML được tuyển dụng dưới tên giả. Từ năm 2019, Trung Quốc đã triển khai các chiến dịch tuyển dụng rầm rộ nhằm thu hút các chuyên gia bán dẫn từ nước ngoài, với các khoản thưởng hấp dẫn.